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爱德华干式真空泵 iH600 维修

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    型 号:iH600

    品 牌:爱德华

    单 价:面议
    供货总量:1 台 最小起订量:1 台
    有效期至:长期有效 最后更新:2016-02-16
    发货期限:自买家付款之日起 天内发货 
产品详情
 iH600 干式泵 460V,60 Hz,3 相,PN:A59020908
iH600 干式泵 200/208V,50/60 Hz,3 相,PN:A59020945
iH600 干式泵 380/415V,50 Hz,3 相,PN:A59020946
iH600 干式泵 230V,60 Hz,3 相,PN:A59020957
Edwards ##半导体真空泵已经过现场应用证明,可以按照最高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率,同时####地减小占地面积、降低运行成本,实现了高的可靠性和性能。
  
Edwards iH 系列为难以执行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠性

应用
负载锁
输送
计量
平版印刷
PVD 制程
PVD 预清洁
RTA
剥离/灰化
刻蚀
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD

功能和优势
优化了设施消耗。
无需预防性维护。
悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。
在节省电机功率的同时####提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。
耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。
较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证。
整体式轴杆无需使用电机联结器,而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积,从而降低了总体占地面积。

峰值速度:  600 m3h-1
           353 cfm
           10000 l min-1
极限真空:  7 x 10-4 mbar
           5.3 x 10-4 Torr
           0.07 Pa
典型轴封氮流量: 4 slm
进气口连接: ISO100
出口连接:  NW40
15 psi 压降下典型冷却水流量: 240 l h-1
                             4 l min-1
重量:    415 kg
极限功率输入: 3.4 kW
电机额定功率: 6.1 kW
油容量:    1.43 l
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