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上海伯东 KRI 考夫曼霍尔离子源光学蒸镀镀膜机应用

时间:2022-04-18  来源:伯东企业(上海)有限公司真空事业部  浏览次数:101
 KRI 考夫曼霍尔离子源光学蒸镀镀膜机应用

伯东公司 KRI 考夫曼霍尔离子源光学蒸镀镀膜机应用

常见蒸镀机台与对应 KRI 霍尔离子源型号:

蒸镀机台尺寸

KRI 离子源

~1100mm

eH1010

1100~1400mm

eH1010, eH1020

1400~1900mm

eH1020, eH3000


离子源


KRI 考夫曼霍尔离子源 controller 自动化控制及联机自动化设计,提供使用者在操作上更是便利。

离子源


KRI 考夫曼霍尔离子源 Gun body 模块化之设计、提供使用者在于基本保养中能够降低成本及便利性。

离子源


伯东公司客户 1400 mm 蒸镀镀膜机安装 KRI考夫曼霍尔离子源 EH1020 F,应用于塑料光学镀膜

离子源
离子源

离子源


KRI 考夫曼霍尔离子源 EH1020 主要参数:

Filament Controller

Discharge controller

Gas controller

17.2A/ 22V

150V/ 4.85A

Ar/ 32sccm

离子源


利用 KRI 考夫曼霍尔离子源辅助镀膜及无离子源辅助镀膜对镀膜质量之比较:

 

KRI EH1020 辅助镀膜

无 Ion Source 辅助镀膜

盐水煮沸脱膜测试

破坏性百格脱膜测试

光学折射设率

膜层致密性

膜层光学吸收率

制程腔体加热温度

生产成本






KRI 考夫曼霍尔离子源系列主要型号包含:

 

离子源 eH200

 离子源 eH400

离子源 eH1010

离子源 eH1020

离子源 eH3000

Cathode

Filament or Hollow cathode

Filament or Hollow cathode

Filament or Hollow cathode

Filament or Hollow cathode

Hollow cathode

Water Cooled Anode

no

no

no

yes

no

Discharge Currentmax

2 A

3.5 (7) A

10 (7) A

10 (20) A

20 (10) A

Discharge  Voltagemax

300 V

300 (150) V

300 (150 ) V

300 (150) V

250 (300) V

Discharge  Voltagemin

40* V

40* V

40* V

40* V

40* V

Divergence (hmhw)

45°

45°

45°

45°

45°

Height (nominal)

2.0”

3.0”

4.0”

4.0”

6.0”

Diameter (nominal)

2.5”

3.7”

5.7”

5.7”

9.7”

伯东公司主要经营产品德国 Pfeiffer涡轮分子泵, 干式真空泵, 罗茨真空泵, 旋片真空泵; 应用于各种条件下的真空测量(真空计, 真空规管);氦质谱检漏仪;质谱分析仪;真空系统以及 Cryopump 冷凝泵/低温泵, HVA 真空阀门, Polycold 冷冻机和美国KRI Kaufman 考夫曼离子源(离子枪)
 

若您需要进一步的了解产品详细信息或讨论请联络上海伯东邓女士分机134

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