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伯东Pfeiffer氦质谱检漏仪ASM390用于不锈钢管检漏

时间:2021-10-22  来源:伯东企业(上海)有限公司真空事业部  浏览次数:98
 某专门生产半导体配件公司采用移动型氦质谱检漏仪 ASM 390 对高端不锈钢管, 阀门和歧管等配件进行检漏, 以验收管件是否达标. 其产品漏率值需要达到 10-9mar l/s.

 伯东 Pfeiffer 移动型氦质谱测漏仪 ASM390 技术参数:

 型号

ASM390

 检测气体

4He, 3He, H2

 最小检测漏率

真空模式: 1X10-12 mbar l/s
吸枪模式: 1X10-8 mbar l/s

 对氦气的抽速

10 l/s

 前级泵抽速

35 m3/h

 进气口最大压力

20 mbar

 无校准的启动时间(20°C)

2 min

 进气口

DN 40 ISO-KF

 响应时间

< 1 s

 Interface,  选配

RS-232, I/O, Ethernet

 噪音

≤ 55 dB (A)

 重量

125 kg

 尺寸(LxWxH)

1072 x 455 x 1025 mm


待检漏产品:
氦质谱检漏仪半导体配件检漏


半导体配件-不锈钢管检漏方法工作示意图如下:

氦质谱检漏仪半导体配件检漏

移动型氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392 优势:

1. 强大的抽空能力

2. 极短的测试时间

3. 大型彩色触摸屏, 无需任何工具即可完全旋转和拆卸

4. 符合人体工学设计, 移动性强

5. 完全符合 Semi S2 标准

若您需要进一步的了解详细产品信息或讨论 , 请参考以下联络方式 :

上海伯东 : 罗先生                               台湾伯东 : 王小姐
T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
M: +86                      M: +886-939-653-958
www.hakuto-china.cn                    www.hakuto-vacuum.com.tw

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